Toggle navigation
PDFSEARCH.IO
Document Search Engine - browse more than 18 million documents
Sign up
Sign in
Back to Results
First Page
Meta Content
View Document Preview and Link
KAPITEL 1 Kristalldefekte nach Ionenimplantation Defekte nach Ionenimplantation beeinflussen die Materialeigenschaften von Halbleitersubstraten nachhaltig. Der Entstehung von einfachen Defekten nach prim¨ aren und seku
Add to Reading List
Document Date: 1998-11-17 10:19:55
Open Document
File Size: 349,78 KB
Share Result on Facebook
KAPITEL 1 Kristalldefekte nach Ionenimplantation Defekte nach Ionenimplantation beeinflussen die Materialeigenschaften von Halbleitersubstraten nachhaltig. Der Entstehung von einfachen Defekten nach prim¨ aren und seku